辛耘獲美Plasma-Therm LLC 中、台代理權

作者: 鉅亨網記者張旭宏 台北 | 鉅亨網 – 2013年9月5日 上午8:51

半導體設備商辛耘企業(3583-TW)在2013年台北國際半導體展「SEMICON Taiwan 2013」展出一系列自行研發製造的半導體濕製程設備暨12吋再生晶圓產品,並宣佈取得美國半導體設備大廠Plasma-Therm LLC的台灣及中國代理權。

辛耘表示,Plasma-Therm LLC是一家總部設在美國的半導體設備生產商,成立於1974年,為全球電漿蝕刻和薄膜沉積設備的領導廠商,可應用於眾多專業市場包括半導體先進封裝、固態照明、薄膜磁頭、微機電(MEMS)與化合物半導體(LED, Wireless Device, Power Device)市場;Plasma-Therm LLC亦生產先進光罩蝕刻設備,並在電漿加工技術方面擁有超過37個專利。

Plasma-Therm LLC曾於2011年取得瑞典真空和薄膜設備供應商Advanced Vacuum的多數股權,因而擴大其產品組合並提升全球市場占有率,2家公司都是蝕刻和沉積系統的領先供應商,其中Advanced Vacuum具有以低成本提供高效能產品的卓越聲譽,Plasma-Therm LLC則強調以價值為導向的研發能力;該交易因此得Plasma-Therm LLC在控制系統升級領域的專業知識,而起發揮客製化設計和製造電漿蝕刻和薄膜沉積設備的能力。

辛耘指出,電漿加工,由於其屬於「乾式製程」,可用於薄膜的鍍膜(氣相沉積)、去膜(蝕刻、灰化、去光阻)、表面處理(改質、清潔)等,由於其具有節水節能、安全經濟、低污染、效率高的特點,加上所有製程不會造成環境污染、不需要廢水處理系統,可有效配合全球市場符合綠色化、清潔化的加工技術理念,深具發展潛力。

辛耘早期以代理進口半導體產品為主要營業項目,隨著事業體擴張,並遵行公司致力發展自有產品政策,2004年起即開始投入研發經費及設立生產工廠,至今已陸續發展出許多半導體、LED、太陽能及砷化鉀前段、後段製程設備,包括濕製程清洗、蝕刻、高溫、黃光顯影、光阻去除、去蠟、電鍍化鍍、乾燥機台及LED導光板模仁雷射雕刻機等,且以自有品牌「SCIENTECH」製程設備產品成功打入海內、外市場。

辛耘2005年再投入12吋晶圓再生服務,公司位於新竹湖口工廠的再生晶圓廠,為國內唯一銅製程與非銅製程分離之工廠,同時也是國內目前唯一可快速擴廠之再生晶圓廠,月產能達12萬片,市場佔有率達近4成,目前辛耘在台灣設有七個營運據點,在中國大陸,則於北京、天津、上海、無錫、重慶、武漢、深圳與昆明等地設立辦服務據點,並在美國聖荷西與新加坡也設有辦事處,以持續開發新產品線並維繫與代理原廠的關係。

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